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產品分類CLASSIFICATION
CVD氣相沉積
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1200℃等離子增強HPCVD回轉爐系統,OTF-1200X-II-PEC4是一款1200℃等離子增強混合物理化學氣相沉積(HPCVD)雙溫區回轉爐系統源(帶自動匹配功能)、上游原位蒸發舟、4通道質子流量計控制系統及性能優異的真空泵組成。此于無機復合粉末的熱處理及粉末表面的均勻包覆(如:制備鋰離子電池陰極粉末的導電涂層等)。
TEL:021-54338590
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